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产品信息
产品名称：详细介绍SMC三联件,D-M9BAVL
产品型号：D-M9BAVL
生产厂商：日本
产品数量：不限
产品单价：电议
产品介绍

详细介绍SMC三联件,D-M9BAVL

XGT  大气压～1×10-6 惰性气体系的真空 32×222
46×236
50×336 0.45～0.6
对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合
系列/CAD 动作方式 轴密封形式
阀形式 材质 法兰尺寸
XLA  气控 波纹管密封 单作用
XMH/XYH  手动 波纹管密封 手动 阀体：

详细资料

详细介绍SMC三联件,D-M9BAVL

上海乾拓贸易有限公司
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企业QQ：2880626087
；居琦

阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
(阀芯)座部分采用间隙隔膜，微粒子数量大幅降低。
伴随主供气初期供气可进行流量调整。
门阀   XGT
系列/CAD 使用压力范围 (Pa) 使用流体 门尺寸
They are values in an ambient temperature of 20°C ±5°C and application of rated
voltage.
• Changing a coil from AC to DC is possible, but it's impossible to change from DC to
 AC.
 (Hum sound may generate because of no shading coil for DC.)
(高×宽) (mm) 动作压力
采用精密铸造一体化结构，无气体滞留。
与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)
系列 磁性开关种类 内容
D Series  有触点的磁性开关 一般 (通用型)
无触点的磁性开关 一般 (通用型)
XLG  双作用 16～80
• Return voltage is 20% or more of the rated value at AC power and 2% or more at the
 DC power.
• Allowable voltage fluctuation is ±10% of the rated voltage.
XLH  手动 波纹管密封
铝制快换接头装拆 高真空L型阀  XLAQ·XLDQ
系列/CAD 动作方式 轴密封形式 阀形式 材质 法兰尺寸
XLAQ  气控 波纹管密封 单作用
(N.C.) 阀体：
不锈钢制高真空L型阀／直通阀  XM/XY
(L型/直通型) 动作方式 轴密封方式 阀形式 材质 法兰尺寸
XMA/XYA  气控 波纹管密封 单作用

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